शेनयांग स्टारलाईट एडवांस्ड सेरामिक्स ने 12-इंच वेफर प्रोसेसिंग के लिए सटीक 451 मिमी ओडी लाइनर ट्यूब के साथ सेमीकंडक्टर विनिर्माण में उपलब्धि हासिल की

शेनयांग स्टारलाईट एडवांस्ड सेरामिक्स कंपनी लिमिटेड, जो तीन दशकों से अधिक की विशेषज्ञता के साथ सिलिकॉन कार्बाइड निर्माण में अग्रणी है, ने हाल ही में 12-इंच सेमीकंडक्टर वेफर निर्माण प्रक्रियाओं के लिए विशेष 451 मिमी बाहरी व्यास (ओडी) लाइनर ट्यूबों को सफलतापूर्वक वितरित करके एक महत्वपूर्ण सफलता हासिल की है। यह उपलब्धि वैश्विक सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए महत्वपूर्ण सिरेमिक घटकों को आगे बढ़ाने में कंपनी के नेतृत्व को रेखांकित करती है। नव विकसित लाइनर ट्यूब, विशेष रूप से उच्च तापमान वाले वेफर प्रसंस्करण अनुप्रयोगों के लिए डिज़ाइन किए गए हैं, जिनमें 451 मिमी का एक अनुकूलित निकला हुआ किनारा बाहरी व्यास है, जिसे उन्नत सेमीकंडक्टर विनिर्माण उपकरणों की कठोर आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए इंजीनियर किया गया है। असाधारण थर्मल स्थिरता (ऑपरेटिंग रेंज: परिवेश से 1,450 डिग्री सेल्सियस) के साथ अल्ट्रा-हाई-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड (≥99.999%) का उपयोग करते हुए, येलाइनर ट्यूब घटक न्यूनतम तापीय विस्तार (4.0×10⁻⁶/K का गुणांक) और संक्षारक प्रक्रिया गैसों के लिए बेहतर प्रतिरोध सुनिश्चित करते हैं, जिससे ऑक्सीकरण, प्रसार और रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) प्रक्रियाओं में लगातार प्रदर्शन संभव होता है। लाइनर ट्यूब की सटीक इंजीनियरिंग ±0.05 मिमी के भीतर आयामी सहनशीलता और आरए 0.1μm से नीचे सतह खुरदरापन की गारंटी देती है, जो वेफर अखंडता को बनाए रखने और क्लीनरूम वातावरण में कण संदूषण के जोखिम को कम करने के लिए महत्वपूर्ण है।

 लाइनर ट्यूबविकास प्रक्रिया में अग्रणी सेमीकंडक्टर निर्माताओं के साथ 18 महीने का कठोर अनुसंधान एवं विकास सहयोग शामिल था, जिसमें 300 मिमी आंतरिक व्यास में गैस प्रवाह गतिशीलता और थर्मल एकरूपता को अनुकूलित करने के लिए उन्नत परिमित तत्व विश्लेषण (फी) को शामिल किया गया था। 500 से अधिक थर्मल साइकलिंग परीक्षणों ने इसकी पुष्टि कीलाइनर ट्यूब'तेज तापमान में उतार-चढ़ाव के तहत स्थायित्व, जबकि मालिकाना सिंटरिंग तकनीक सुनिश्चित की गईलाइनर ट्यूब अत्यधिक तापमान पर संरचनात्मक अखंडता। उत्पादन आईएसओ क्लास 5 क्लीनरूम में होता है, जिसमें प्रत्येक इकाई व्यापक परीक्षण से गुजरती है लाइनर ट्यूबहीलियम रिसाव परीक्षण, अवशिष्ट गैस विश्लेषण (आरजीए) और लेजर स्कैनर और समन्वय माप मशीनों (सीएमएम) का उपयोग करके मेट्रोलॉजी सत्यापन सहित गुणवत्ता जांच। उन्नत तर्क और मेमोरी चिप उत्पादन में शुरुआती अपनाने वालों ने पारंपरिक क्वार्ट्ज लाइनर की तुलना में फर्नेस डाउनटाइम में 35% की कमी और वेफर उपज में 20% सुधार की सूचना दी है, जिसका श्रेय सामग्री की अंतर्निहित रासायनिक निष्क्रियता और रखरखाव की कम आवश्यकताओं को दिया जाता है।

यह लाइनर ट्यूबनवाचार सेमीकंडक्टर उद्योग की बड़े आकार के वेफर और उच्च प्रक्रिया स्थिरता की बढ़ती मांग को संबोधित करता है, खासकर जब निर्माता सब-5nm नोड्स में संक्रमण करते हैं। 451 मिमी ओडी डिज़ाइन अगली पीढ़ी के ऊर्ध्वाधर भट्टियों के साथ सहज एकीकरण को सक्षम बनाता है, जबकि सामग्री के अल्ट्रा-कम धातु अशुद्धता स्तर (<0.1ppb) संवेदनशील प्रक्रियाओं में डोपेंट संदूषण को रोकते हैं। वर्तमान अनुप्रयोगों से परे, शेनयांग स्टारलाइट सक्रिय रूप से स्मार्ट विकसित कर रहा हैलाइनर ट्यूबवास्तविक समय तापमान निगरानी और अनुकूली थर्मल प्रबंधन प्रणालियों के लिए एम्बेडेड सेंसर के साथ प्रोटोटाइप, जो उद्योग 4.0 विनिर्माण पारिस्थितिकी प्रणालियों के साथ संगत हैं।

30 वर्षों की विरासत और 2,000 से अधिक सफल ग्राहक साझेदारियों के साथ, शेनयांग स्टारलाईट उच्च प्रदर्शन वाले सिरेमिक में नवाचार को आगे बढ़ा रहा है, सेमीकंडक्टर उद्योग की सबसे जटिल चुनौतियों को हल करने के लिए सटीक इंजीनियरिंग के साथ सामग्री विज्ञान उत्कृष्टता को जोड़ रहा है।